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KS-S150
星型全自動塗膠顯影機

KS-S150星型全自動塗膠顯影機用於LED-PSS工藝的塗膠顯影制程及先進封裝的塗膠顯影等制程。可相容藍寶石、砷化鎵和碳化矽等材質的晶圓,產品涉及多個應用領域,塗膠機產能大於155片/小時。設備通過了CSA認證。
产品优势:
  • 1.占地小、穩定性高、操作與維護方便

    2.產能高,塗膠機產能大於155片/小時

    3.光刻膠用量小,4寸用量0.6ml

    4.優异的流場設計,塗膠均勻性好

应用领域:

●感測器晶片製造

●光通信晶片製造

●功率晶片製造

●LED晶片製造

●圖形化襯底製造