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KS-FT200/300
前道8/12寸塗膠顯影機

KS-FT200/300系列堆疊式高產能前道塗膠顯影機,為我司自主研發的突破晶圓前道28nm工藝節點及以上工藝制程,適用於ArF、KrF、I-Line、PI、BARC,SOC,SOD,SOG等多種資料塗覆顯影工藝的高端機台。支持與光刻機聯機工作。該系列機台為國內首創產品,通過各種行業認證,占地面積小、可靠性高、易於維護,滿足各種功能晶片制程需求。
产品优势:
  • 1. 堆疊式高產能架構,占地面積小

    2. 可與光刻機聯機,滿足工廠自動化需求

    3. 配備多段回吸的多腔體共用供膠系統,有效節省光刻膠的用量

    4. 選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件,滿足更高標準工藝需求

    5. 覈心單元模組化設計,組合管道靈活多變,最大限度客制化

应用领域:

●邏輯電路

●CMOS射頻電路

●功率器件

●MEMS系統級晶片

●閃存内存

●CIS

●驅動芯片

●OLED