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KS-C300
12寸集束型塗膠顯影機

KS-C300塗膠顯影機可用於高端封裝、MEMS、OLED等領域的塗覆顯影制程,每小時可加工120片晶片,同時產品可相容不同材質的晶片如矽、玻璃片、鍵合片、化合物等。產品可應用於邏輯類、存儲類晶片、監視器晶片、功率器件晶片、OLED製造等領域。高端國產化積體電路設備的成功應用為客戶節約了大量成本。產品通過SEMI S2認證。
产品优势:
  • 1.適合超薄晶圓處理,超厚膠塗敷、顯影、烘焙工藝

    2.塗膠單元特殊設計,避免高黏度膠離心塗敷時產生的“棉花糖”現象

    3.機台為全封閉模組化結構,工藝單元靈活選配

    4.占地面積小,產能高

    5.工藝上可實現5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工,熱板採用漸進式烘焙

应用领域:

●高端封裝

●OLED領域

●MEMS