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KS-S150-4ST
星型去膠機

適用於電晶體及LED晶片製造領域中的光刻膠去除、金屬剝離等工藝制程。
产品优势:
  • 1. 可相容處理4英寸及6英寸晶圓且配寘靈活

  • 2. 支持兩種去膠液擺臂,變速掃描功能

    3. 采用“幹進幹出”的晶圓加工模式

    4. 化學液迴圈再利用、金屬回收、多種藥液分類排放



应用领域:

           ●LED芯片製造

           ●圖形化襯底製造