产品优势:
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1.利用位置、速度可控的擺臂噴灑化學液,可以有效的提高刻蝕均勻性
2.分層式反應腔體設計,可以在同一腔體中噴灑多種化學液,並能有效回收,節約化學液
3.疊層控制,占地面積小,最多可配置4個刻蝕單元
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