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COMPANY INTRODUCTION
公司介紹

       瀋陽芯源微電子設備股份有限公司成立於2002年,是由中科院瀋陽自動化研究所發起創建的國家高新技術企業,專業從事電晶體生產設備的研發、生產、銷售與服務,致力於為客戶提供電晶體裝備與工藝整體解決方案。
       芯源公司座落在瀋陽市渾南區,公司占地2萬平米,設定了專業的集成電路工藝開發和檢測實驗室以及電晶體設備生產組裝車間。芯源公司通過多年科技積累、創新提高,形成自主知識產權體系;已擁有授權專利174項,其中發明專利139項。瀋陽芯源公司作為國內領先的高端電晶體裝備製造企業,所開發的塗膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產品,已形成完整的科技體系和豐富的產品系列,可根據用戶的工藝要求量身定制。產品適應不同工藝等級的客戶要求,廣泛應用於電晶體生產、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域。可滿足300mm前道制程及300mm先進封裝厚膠工藝制程。
       瀋陽芯源連續承擔國家02科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》項目,依託國家重大專項的支持,芯源將加速提升企業的創新能力和產品成套能力,以先進可靠的產品和優質服務贏得客戶信賴,為客戶提供先進的電晶體設備,成為全球半導體設備領先企業,助推產業技術進步。


2002
2002年創立
2 万㎡
公司占地2萬平米
174 餘項
174餘項專利