产品优势：
可配置8腔體、12腔體和16腔體，單Chamber占地面積更小
具有雙面清洗能力，可配置多種化學液：
DHF，SC1，SC2，DIO3，H2SO4，IPA，DSP，ST250，EKC等
完全自主國產化設備，搭配芯源高速自研機械手
SC1/SC2線上及時混合DMS，可使用多種濃度配比
液體流量一鍵設定，閉環迴響自動調節
Chamber自動清洗，减少PM時間
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