上海芯源微企業發展有限公司成立於2021年，是瀋陽芯源微電子設備股份有限公司的全資子公司。 上海芯源微主要開展28nm及以下高端工藝科技節點的集成電路光刻工藝塗膠顯影設備、化學清洗設備及其覈心零部件研發及產業化，打造更高科技節點電晶體設備，更好服務前道用戶。 2022年，上海芯源微承擔建設的“芯源微臨港研發及產業化”項目主體工程在臨港新片區重裝備產業區全面開工，園區占地45畝、規劃總建築面積約5.4萬平方米，將於2023年第四季度竣工，建成後將具備較强的國際先進水準電晶體設備研發能力，加速高端電晶體設備國產替代行程。