雙作用氣缸,行程20~50mm,速度≤25mm/s;
連續動作60s內大於0.1 μ m顆粒物數量小於30,
使用工况:常溫或150℃高溫。
適用介質NMP/DMSO/EKC/TMAH/醇胺類藥水高壓泵具有良好的耐腐性;
增壓後介質壓力:0-25 MPA; 使用溫度85℃;
壓力波動性±0.5MPA; 最大流量2L/min; pa add≤ 30ea@0.2μm。
可檢測暫態流量和累計流量檢測;
流量範圍0-3000mL/min; 口徑1/4”、3/8”;
支持流體所有液體(水、油、粘合劑、藥液等);
溫度0℃(配管表面無結冰)-100℃;
樹脂配管精度±0.1%; 金屬配管精度±0.3%
使用溫度5-90℃,耐壓1MPa,工作壓力0-0.5MPa,
主體材質PTFE/PFA,環境溫度10-60℃,
量範圍10-1500ml/min; 流量控制精度±1%
供電220 V,網口或串口,
通訊協定ModbusTCP/IP或ModbusRTU,
參攷尺寸125*420*290mm;
光强穩定性波動<±0.5%/h,
光强衰减率4000H以上<30%
硬體介面Ethercat(大於32軸,同步週期<2ms),
基於PC的硬體架構(X86),RS485/RS232(串列傳輸速率115200),
CAN(Canopen介面串列傳輸速率1Mbps),
擴展模組支持數位量、類比量、步進電機控制模塊;
支持Modbus RTU / TCP; 支持UDP功能;
支持檔案讀寫功能。
需求公制和英制。
本體材質PFA,管材本體具有導電條結構,
可以傳導因溶劑流動而產生的靜電,
以及防止火花產生,避免火灾及其它問題。
參攷電阻導電PFA段:5.3 × 102Ω-cm,
絕緣PFA段:>1018Ω-cm,用於接地的導電帶。
介質:純水/藥液/空氣/氮氣,
使用溫度; 5-60℃,耐壓力0-0.3 Mpa;
本體材質; PFA或PTFE;
支持手動流量調節功能。