雙作用氣缸，行程20~50mm，速度≤25mm/s；
連續動作60s內大於0.1 μ m顆粒物數量小於30，
使用工况：常溫或150℃高溫。
適用介質NMP/DMSO/EKC/TMAH/醇胺類藥水高壓泵具有良好的耐腐性；
增壓後介質壓力：0-25 MPA； 使用溫度85℃；
壓力波動性±0.5MPA； 最大流量2L/min； pa add≤ 30ea@0.2μm。
可檢測暫態流量和累計流量檢測；
流量範圍0-3000mL/min； 口徑1/4”、3/8”；
支持流體所有液體（水、油、粘合劑、藥液等）；
溫度0℃（配管表面無結冰）-100℃；
樹脂配管精度±0.1%； 金屬配管精度±0.3%
使用溫度5-90℃，耐壓1MPa，工作壓力0-0.5MPa，
主體材質PTFE/PFA，環境溫度10-60℃，
量範圍10-1500ml/min； 流量控制精度±1%
供電220 V，網口或串口，
通訊協定ModbusTCP/IP或ModbusRTU，
參攷尺寸125*420*290mm；
光强穩定性波動＜±0.5%/h，
光强衰减率4000H以上＜30%
硬體介面Ethercat（大於32軸，同步週期<2ms），
基於PC的硬體架構（X86），RS485/RS232（串列傳輸速率115200），
CAN（Canopen介面串列傳輸速率1Mbps），
擴展模組支持數位量、類比量、步進電機控制模塊；
支持Modbus RTU / TCP； 支持UDP功能；
支持檔案讀寫功能。
需求公制和英制。
本體材質PFA，管材本體具有導電條結構，
可以傳導因溶劑流動而產生的靜電，
以及防止火花產生，避免火灾及其它問題。
參攷電阻導電PFA段：5.3 × 102Ω-cm，
絕緣PFA段：＞1018Ω-cm，用於接地的導電帶。
介質：純水/藥液/空氣/氮氣，
使用溫度； 5-60℃，耐壓力0-0.3 Mpa；
本體材質； PFA或PTFE；
支持手動流量調節功能。
