2022年6月10日，瀋陽芯源12寸KrF塗膠顯影設備順利入駐廈門士蘭集科。 作為士蘭集科引入的首臺國產高產能KrF塗膠顯影機台，瀋陽芯源產品獲得了客戶的高度重視和充分認可，士蘭集科總經理黃軍華、副總經理李文深、相關科技和商務代表，瀋陽芯源公司董事長兼總裁宗潤福、前道設計總監程虎、市場總監王星園以及現場服務代表出席了搬入儀式。

此次瀋陽芯源公司12寸高產能KrF塗膠顯影量產機台的順利交付，將會為士蘭集科提供更加高端的光刻工藝解決方案及服務，為士蘭集科後續高端產品穩定量產、產線陞級擴產提供更為安全的供應鏈保障。 同時，士蘭集科作為中國大陸12寸晶圓特種工藝產線的領導者，也為集成電路高端設備國產化替代提供了優秀的平臺和機遇。

搬入儀式完成後，雙方進行了深入友好的商務交流，瀋陽芯源與士蘭集科簽署了戰略合作協定。 本次戰略合作的達成，既是對過往雙方成功合作的肯定，也是對未來深入合作的無限期許，雙方也將繼續攜手前行，協同發展，同“芯”聚力，共創輝煌！