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瀋陽芯源公司“集成電路InFO工藝制程塗膠顯影機研發與產業化項目”獲評遼寧省科技進步一等獎
发布时间:2020-06-30 00:00:00 浏览次数:936
日前,遼寧省人民政府發佈了關於2019年度遼寧省科學技術獎勵的决定。 瀋陽芯源微電子設備股份有限公司提報的“集成電路InFO工藝制程塗膠顯影機研發與產業化項目”被評為遼寧省科技進步一等獎。

该项目通过自主研发,突破了集成电路后道先进封装InFO工艺涂胶显影设备关键技术,并进行集成创新,使设备整体技术达到国际先进水平。该项目产品于2016年成功拿下台湾市场批量订单,实现进口替代。該項目通過自主研發,突破了集成電路後道先進封裝InFO工藝塗膠顯影設備關鍵技術,並進行集成創新,使設備整體科技達到國際先進水準。 該項目產品於2016年成功拿下臺灣市場批量訂單,實現進口替代。



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