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KS-S150 星型全自動塗膠顯影機

KS-S150星型全自動塗膠顯影機用於LED-PSS工藝的塗膠顯影制程及化合物電晶體的塗膠顯影等制程。可相容藍寶石、砷化鎵和碳化矽等材質的晶圓，產品涉及多個應用領域，塗膠機產能大於190片/小時。設備通過了CSA認證。

产品优势：

1.占地小、穩定性高、操作與維護方便
2.產能高，塗膠機產能大於190片/小時
3.光刻膠用量小，4寸用量0.6ml
4.優异的流場設計，塗膠均勻性好

应用领域：

● 感測器晶片製造
● 光通信晶片製造
● 功率晶片製造
● LED晶片製造
● 圖形化襯底製造
● 化合物電晶體領域