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芯源微“集成電路前道晶片制程領域用單片式清洗機研發及產業化”項目喜獲遼寧省科技進步一等獎
发布时间:2023-08-14 00:00:00 浏览次数:1209

日前,2022年度遼寧省科學技術獎名單正式公佈,瀋陽芯源微電子設備股份有限公司提報的“集成電路前道晶片制程領域用單片式清洗機研發及產業化”項目喜獲遼寧省科技進步一等獎。

該項目攻克了晶圓雙面顆粒清洗等多項核心技術,成功研製了國內首臺應用於集成電路前道晶片制程領域用單片式清洗機,並在多項核心技術方面實現重大創新,填補國內相關領域科技空白。





項目已在中芯國際、上海華力、廈門士蘭集科等多個客戶處通過工藝驗證。 產品滿足集成電路前道晶片制程生產線的工藝要求,性能穩定,科技已經達到國際先進水準,並獲得國內多家Fab廠商的批量重複訂單,成功實現國產替代。








作為國內一流的電晶體設備供應商,芯源微將堅持自主研發,不斷深化創新,以時不我待的精神推進科技自立自强,為客戶創造價值,成為受社會尊重的世界級企業!