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KS-S300-SP 12寸噴霧式塗膠機

KS-S300全自動噴霧式塗膠機通過超聲波將光阻霧化為微小顆粒，適用於在大深寬比的圖形表面以高解析度均勻地塗敷光刻膠，可以有效覆蓋溝槽的側壁和邊緣，避免溝槽堆積，節省光刻膠；同時針對輕薄易碎的襯底，承片臺靜態噴霧式塗膠可以避免襯底在高速旋轉時碎裂的風險。產品可應用於高端封裝、微機電系統製造等領域。該產品已通過SEMI S2認證。

产品优势：

1.旋流式錐形霧化可均勻覆蓋高深寬比臺階的邊緣和底部
2.旋轉加熱式承片臺有效節省光刻膠
3.承片臺靜態噴塗規避輕薄襯底碎片風險
4.噴嘴具備內外自動清洗功能

应用领域：

● 高端封裝

● OLED領域

● MEMS

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