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KS-FT200/300 前道8/12寸塗膠顯影機

KS-FT200/300系列堆疊式高產能前道塗膠顯影機，為我司自主研發的突破晶圓前道28nm工藝節點及以上工藝制程，適用於ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多種資料塗覆顯影工藝的高端機台。支持與光刻機聯機工作。該系列機台通過各種行業認證，占地面積小、可靠性高、易於維護，滿足各種功能晶片制程需求。

产品优势：

1.堆疊式高產能架構，占地面積小
2.可與光刻機聯機，滿足工廠自動化需求
3.配備多段回吸的多腔體共用供膠系統，有效節省光刻膠的用量
4.選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件，滿足更高標準工藝需求
5.覈心單元模組化設計，組合管道靈活多變，最大限度客制化

应用领域：

● 邏輯電路
● CMOS射頻電路
● 功率器件
● MEMS系統級晶片
● 閃存記憶體
● CIS
● 驅動晶片
● OLED等

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