产品优势：
1.可相容處理4英寸及6英寸晶圓且配寘靈活
2.支持兩種去膠液擺臂，變速掃描功能
3.採用“幹進幹出”的晶圓加工模式
4.化學液迴圈再利用、金屬回收、多種藥液分類排放
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