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KS-S200-2H1L全自動SiC劃片裂片一體機

適用鋼環尺寸:8 Inch
晶圓尺寸:200mm(相容Compatible with 150mm)
最大產能:20WPH
SiC切割速度:100mm/s
外形尺寸:W2730×D2260×H2230(mm)
产品优势:

整機緊湊設計,占地面積小;
標準化單元尺寸,配寘靈活;
高產能,切割速度快;
幹法切割,無液體廠務需求;
斷面平整,崩邊、裂痕少;
無切口損失,更多可切割晶片數;

应用领域:

適用於SiC晶圓切割
裂片工藝

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